[J132] 設計・加工技術の深化と調和 (2)

13:45 〜 14:00

[J132-09] SiC基板のPCDブレードによる送水加工技術

〇泉谷 悠綺¹、藤田 隆¹ (1. 近畿大学)

キーワード：

SiC基板、PCDブレード、純水による送水