[J132] 設計・加工技術の深化と調和 (2)

14:00 〜 14:15

[J132-10] ファイバーコンディショナーによるCMP研磨パッド表面コンディショニング技術の研究

〇橋本 治樹¹、藤田 隆¹ (1. 近畿大学)

キーワード：

CMP、ファイバーコンディショナー、研磨パッド、研磨レート