[J132] 設計・加工技術の深化と調和 (4)

15:50 〜 16:05

[J132-16] レーザアブレーションの反力測定によるシリコンウエハの貫通検知

〇佐藤 正隆¹、比田井 洋史¹、伊東 翔¹、堀越 睦美²、松坂 壮太¹ (1. 千葉大学大学院、2. 日本キスラー合同会社)

キーワード：

レーザアブレーション反力、加工状態検知技術、ダイシングプロセス

閲覧にはパスワードが必要です

予稿集は参加登録者限定で公開しております。
参加登録済みの方にメール配信されたパスワードをご入力ください。