[J221p] マイクロ・ナノ材料創成とそのデバイス応用

[J221p-04] 第一原理計算による異種原子を含むSiCの物性評価と機械学習型ポテンシャルの構築

〇多田 和弘¹、齋藤 賢一¹、西村 憲治²、宅間 正則¹、高橋 可昌¹、佐藤 知広¹ (1. 関西大学、2. 産業技術総合研究所)

キーワード：

シリコンカーバイト(SiC)、第一原理計算(DFT)、機械学習型ポテンシャル、分子動力学シミュレーション(MD)、パワー半導体

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