[J221p] マイクロ・ナノ材料創成とそのデバイス応用

[J221p-09] 高感度静電容量形圧力センサ用Al-Cu-Ti薄膜非晶質合金の探索

〇水島 健登¹、櫻井 淳平¹、岡 智絵美¹、秦 誠一¹ (1. 名古屋大学大学院)

キーワード：

圧力センサ、コンビナトリアル、材料探索