[J221p] マイクロ・ナノ材料創成とそのデバイス応用

[J221p-11] 超音波センサ用Ni-Nb-Zr薄膜非晶質合金の組成依存性特性評価

〇謝 靖蘭¹、川村 健太朗¹、岡 智絵美¹、秦 誠一¹、櫻井 淳平¹ (1. 名古屋大学)

キーワード：

超音波センサ、薄膜非晶質合金、振動特性、応力振幅、疲労特性

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