[J221p] マイクロ・ナノ材料創成とそのデバイス応用

[J221p-14] マイクロコイルに向けた自己ロールアッププロセスの歩留り向上

〇兼松 大揮¹、佐野 光哉¹、岡 智絵美¹、櫻井 淳平¹、秦 誠一¹ (1. 名古屋大学)

キーワード：

マイクロコイル、自己組立技術、ロールアップ、歩留り

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