[J224] マイクロ・ナノ機械デバイスとその信頼性 (1)

9:00 〜 9:15

[J224-01] 全フッ素化プラスチック光ファイバの断面形状の観察手法の検討

〇中島 遼¹、石田 啓人⁴、中西 拓登¹、李 ひよん²、水野 洋輔³、山根 大輔¹ (1. 立命館大学大学院、2. 芝浦工業大学、3. 横浜国立大学、4. 立命館大学)

キーワード：

プラスチック光ファイバ、RIE（反応性イオンエッチング）、有限要素法

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