[J224] マイクロ・ナノ機械デバイスとその信頼性 (1)

10:00 〜 10:15

[J224-05] レーザースポット周期加熱放射測温法による黒化膜の熱拡散率の同定

〇山藤 靖一朗^1,2、粟野 孝昭¹、大槻 哲也¹、太田 弘道²、西 剛史² (1. 株式会社べテル、2. 茨城大学)

キーワード：

レーザースポット周期加熱放射測温法、熱拡散率、黒化膜、放射率、熱物性測定

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