[J224] マイクロ・ナノ機械デバイスとその信頼性 (2)

11:40 〜 11:55

[J224-11] レーザー反射光強度計測による金属膜表面温度の非接触測定

〇村上 大志¹、霜降 真希²、土屋 智由²、三宅 修吾¹ (1. 摂南大学、2. 京都大学)

キーワード：

非接触温度計測、反射率温度依存性、マイクロスケール

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