[J224] マイクロ・ナノ機械デバイスとその信頼性 (3)

15:25 〜 15:40

[J224-16] カーボンナノチューブ複合化によるポリイミド容量型湿度センサの高性能化

〇藤井 達也¹、滝田 雅章¹、鈴木 庸久¹、野村 光由¹ (1. 秋田県立大学)

キーワード：

容量型湿度センサ、ポリイミド、カーボンナノチューブ