[J224] マイクロ・ナノ機械デバイスとその信頼性 (3)

15:55 〜 16:10

[J224-18] MEMS外観検査におけるオーバーキル防止のための薄膜の反り軽減

〇永友 康貴¹、井上 匡志¹、桃谷 幸志¹、成瀬 浩司¹ (1. MMIセミコンダクター株式会社)

キーワード：

MEMS、IRセンサ―、外観検査、メンブレンの反り