[K221] マイクロナノ機械の信頼性：作って測って壊し、そして創る［マイクロ・ナノ工学部門，材料力学部門，機械材料・材料加工部門］

[K221-1] マイクロナノ機械の信頼性：作って測って壊し、そして創る

土屋 智由 (京都大学)