講演情報
[S051p-07]筐体内に設置された複数の圧電ファンが作り出す流れのコントロールに関する実験的研究
細谷 和範1、〇水本 直希1 (1. 独立行政法人国立高等専門学校機構津山工業高等専門学校)
キーワード:
流れの可視化、ピエゾファン、誘起流、基板冷却
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流れの可視化、ピエゾファン、誘起流、基板冷却