講演情報
[S114-05]高温高圧アンモニア水溶液環境下におけるa-C:H膜の摩擦摩耗特性
〇中浜 岳大1、梅原 徳次1、野老山 貴行1、張 鋭璽1 (1. 名古屋大学大学院工学研究科 マイクロ・ナノ機械理工学専攻 生産プロセス工学研究グループ 梅原研究室)
キーワード：
アンモニア、a-C:H、DLC、高温高圧
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