講演情報
[S114-35]ta-C膜成膜サファイア半球による反射分光摩擦部その場分析の可能性の検討
〇齋藤 岳1、梅原 徳次1、野老山 貴行1、張 鋭璽1、Woo-Young Lee2 (1. 名古屋大学、2. 韓国光技術院)
キーワード:
DLC、反射分光分析、ta-C、摩擦
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