[J132] 工作機械と生産システムの最前線 (2)

11:30 〜 11:45

[J132-15] スモールツールによる電子デバイス向け基板の高効率研磨技術の開発

〇佐藤 颯奏¹、細川 遥花¹、池田 洋¹、久住 孝幸²、會田 英雄³、千葉 翔梧⁴ (1. 秋田工業高等専門学校、2. 秋田県産業技術センター、3. 長岡技術科学大学、4. 株式会社斉藤光学製作所)

キーワード：

small tool、polishing、electric field、slurry