講演情報

[J132-16]単結晶シリコンインゴットの高効率スライシング技術の開発

〇細川 遥花1、池田 洋1、久住 孝幸2、越後谷 正見2 (1. 秋田工業高等専門学校、2. 秋田県産業技術センター)

キーワード:

wire saw、ingot、electric field、slurry