[J161] 情報・精密システムとその応用技術 (1)

10:00 〜 10:15

[J161-03] 壁面からの分子間力を考慮した超微小すきまのポアズイユ流れの解析

〇山根 清美¹、福井 茂寿、松岡 広成² (1. 松江高専、2. 鳥取大学)

キーワード：

nanometer scale gas flow、Intermolecular force、Head Disk Interface