講演情報
[J162p-10]回折スケール格子ピッチ偏差計測向け小型光学ヘッドの開発と特性評価
〇田代 直也1、山崎 雄矢1、清水 裕樹2 (1. 北海道大学大学院工学院、2. 北海道大学大学院工学研究院)
キーワード:
Caliobration、Linear encoder、Pitch deviation、Robustness、Laser autocollimation
Caliobration、Linear encoder、Pitch deviation、Robustness、Laser autocollimation