[J162p] マイクロナノ理工学：nmからmmまでの表面制御とその応用

[J162p-12] MEMSとAFM組み合わせによる表面ひずみの摩擦への影響の検討

〇大堀 瑞季¹、小山 莉生¹、安藤 泰久¹ (1. 東京農工大学大学院)

キーワード：

MEMS、atomic distance、atomic force microscope