[J162p] マイクロナノ理工学：nmからmmまでの表面制御とその応用

[J162p-13] 三次元表面マイクロ構造を用いた摩擦制御

〇小野 紘平¹、安藤 泰久¹ (1. 東京農工大学大学院)

キーワード：

DRIE加工、表面テクスチャリング、弾性変形、油潤滑