[J162p] マイクロナノ理工学：nmからmmまでの表面制御とその応用

[J162p-14] 内部電極構造を導入した高速原子ビーム源の特性評価

〇日野 太智¹、大島 京祐¹、三好 勇貴¹、岡 智絵美¹、櫻井 淳平¹、秦 誠一¹ (1. 名古屋大学大学院)

キーワード：

常温直接接合、表面活性化接合、高速原子ビーム源