[J224] マイクロ・ナノ機械デバイスとその信頼性 (1)

9:00 〜 9:15

[J224-01] Solid-state phase transformation of amorphous SiO₂ into crystalline Si using scanning electron microscope

〇しん あぶひらっじゅ¹、内藤 宗幸²、生津 資大¹ (1. 京都先端科学大学、2. 甲南大学)

キーワード：

Silicon nanodots、Phase transformation、Electron beam、Amorphous SiO2