[J224] マイクロ・ナノ機械デバイスとその信頼性 (1)

9:45 〜 10:00

[J224-04] 吐出圧力に依存せず吐出体積を精密制御できるマイクロダイヤフラムポンプの開発

〇鳥山 丈仁²、篠原 太一¹、柴崎 翔¹、冨士原 民雄¹ (1. 東京都市大学、2. 東京都市大学大学院)

キーワード：

Micro pump、Diaphragm Pump、Polydimethylsiloxane、Microfluidics、Check valve