[J224] マイクロ・ナノ機械デバイスとその信頼性 (2)

10:45 〜 11:00

[J224-07] 間接吸盤における中間膜形状の検討

〇須釜 健¹、寺嶋 真伍¹、岩瀬 英治¹ (1. 早稲田大学)

キーワード：

Suction cup、Indirect suction、Suction force、Membrane