[J224] マイクロ・ナノ機械デバイスとその信頼性 (2)

11:00 〜 11:15

[J224-08] 金属ナノ粒子表面修飾シリコンナノピラー構造のメタネーション触媒効果

〇上杉 晃生¹、濱口 優²、三島 群²、本間 浩章²、菅野 公二²、磯野 吉正² (1. 富山県立大学、2. 神戸大学)

キーワード：

シリコンナノ構造、メタネーション、微細加工