[J224] マイクロ・ナノ機械デバイスとその信頼性 (2)

11:15 〜 11:30

[J224-09] オンチップ電熱アクチュエータ一体化へき開面ナノギャップデバイスの開発

〇藤原 幹太¹、霜降 真希¹、Banerjee Amit¹、廣谷 潤¹、土屋 智由¹ (1. 京都大学)

キーワード：

電熱アクチュエータ、ナノギャップ、へき開、MEMS、単結晶シリコン