[J224] マイクロ・ナノ機械デバイスとその信頼性 (2)

12:00 〜 12:15

[J224-12] ショットキー接合を利用したシリコンの疲労損傷センシングの試み

〇泉 隼人¹、長谷川 晃大¹、神谷 庄司¹ (1. 名古屋工業大学)

キーワード：

単結晶シリコン、疲労、ショットキー接合