[J224p] マイクロ・ナノ機械デバイスとその信頼性

[J224p-02] 電位コントラスト法による余剰電子/ホール濃度評価と合成石英の破壊じん性向上との関係

〇前田 淳佑¹、髙橋 拓眞¹、松永 航¹、平方 寛之¹ (1. 京都大学大学院工学研究科機械理工学専攻)

キーワード：

電位コントラスト法、余剰電子/ホール、破壊じん性、合成石英