[J224p] マイクロ・ナノ機械デバイスとその信頼性

[J224p-03] ダイヤモンドNEMS共振器デバイスの作製に向けたCrナノパターニングおよびドライエッチングプロセスの検討

〇宇野 将生¹、松田 駿一郎¹、霜降 真希¹、Banerjee Amit²、廣谷 潤¹、土屋 智由¹ (1. 京都大学、2. 京都先端科学大学)

キーワード：

ダイヤモンド、NEMS、共振器、電子線描画、反応性イオンエッチング、Crナノパターニング