[J224p] マイクロ・ナノ機械デバイスとその信頼性

[J224p-03] ダイヤモンドNEMS共振器デバイスの作成に向けたナノパターニングおよびドライエッチングプロセスの検討

〇宇野 将生¹、松田 駿一郎¹、霜降 真希¹、Banerjee Amit¹、廣谷 潤¹、土屋 智由¹ (1. 京都大学)

キーワード：

ダイヤモンドNEMS、反応性イオンエッチング、クロムナノパターニング、NEMS共振器、電子ビームリソグラフィ