[J224p] マイクロ・ナノ機械デバイスとその信頼性

[J224p-05] 反射率温度依存性を利用した2波長レーザー光反射強度計測による非接触温度マッピング

〇村上 大志¹、霜降 真希²、土屋 智由²、三宅 修吾¹ (1. 摂南大学、2. 京都大学)

キーワード：

非接触温度測定、マイクロスケール、レーザー光学系