[J224p] マイクロ・ナノ機械デバイスとその信頼性

[J224p-12] 温度・力同時計測触覚センサを用いた硬さ提示の定量的評価

〇佐野 竜雅¹、野村 宏貴¹、安部 隆¹、寒川 雅之¹ (1. 新潟大学)

キーワード：

MEMS、触覚センサ、複合計測、ポリマー材料、Haptics