[J224p] マイクロ・ナノ機械デバイスとその信頼性

[J224p-13] スパッタリング法により作製したCr/CrN多層膜の機械的特性と耐腐食性

〇本間 裕人¹、藤井 達也¹、鈴木 庸久¹、野村 光由¹ (1. 秋田県立大学)

キーワード：

スパッタリング、Cr/CrN多層膜、機械的特性、耐腐食性