[J224p] マイクロ・ナノ機械デバイスとその信頼性

[J224p-15] 微粒子回収における駆動力としての静電的斥力発生に適した直流・交流電源の比較検討

〇米田 陵真¹、横山 奨² (1. 大阪工業大学 工学研究科 、2. 大阪工業大学)

キーワード：

マイクロ流体デバイス、微粒子回収、静電的斥力