[S113] 第31回卒業研究コンテスト (1)

9:00 〜 9:15

[S113-01] 高硬度・高窒素含有ta-CNx膜の創製

〇脇田 翔馬¹、野老山 貴行¹、梅原 徳次¹、張 鋭璽¹ (1. 名古屋大学)

キーワード：

DLC、ta-CNx、FCVA法、プラズマ