[S113] 第31回卒業研究コンテスト (2)

11:30 〜 11:45

[S113-16] 圧力勾配式スパッタリングによる炭化ケイ素系コーティングの機械特性およびトライボロジー特性

〇野本 大翔¹、塩田 忠¹、藤井 正浩¹ (1. 岡山大学)

キーワード：

圧力勾配式スパッタリング、硬質コーティング、炭化ケイ素、トライボロジー