[S113] 第31回卒業研究コンテスト (5)

11:45 〜 12:00

[S113-22] MVP法を用いた細穴内面外に生成される余剰プラズマが及ぼす影響

〇鷲野 太志¹、ベ スミン² (1. 岐阜大学大学院　自然科学技術研究科、2. 岐阜大学工学部機械工学科)

キーワード：

高密度プラズマ、マイクロ波、アーキング、内部プラズマ生成