[S113] 第31回卒業研究コンテスト (5)

11:45 〜 12:00

[S113-22] MVP法を用いた細穴内面開口端近傍部への硬質DLC成膜

〇鷲野 太志¹、上坂 裕之¹ (1. 岐阜大学)

キーワード：

プラズマ、DLC