[S113] 第31回卒業研究コンテスト (5)

11:45 〜 12:00

[S113-22] マイクロ波を用いた細穴内面プラズマ生成において余剰プラズマが放電の安定性に及ぼす影響

〇鷲野 太志¹、ベ スミン² (1. 岐阜大学大学院　自然科学技術研究科、2. 岐阜大学工学部機械工学科)

キーワード：

高密度プラズマ、マイクロ波、アーキング、内部プラズマ生成

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