[S113] 第31回卒業研究コンテスト (3)

13:45 〜 14:00

[S113-24] 大気中及び真空中でのDLC膜のマイクロ摩擦特性

〇岡 亮輔¹、安藤 泰久¹ (1. 東京農工大学)

キーワード：

Diamond-like Carbon film、Vacuum、oxide layer、Micro grooves、Micro load