[S113] 第31回卒業研究コンテスト (6)

13:30 〜 13:45

[S113-28] プラント用配管内面成膜のためのプラズマの時空間分布均一化

〇佐藤 奏斗¹、上坂 裕之² (1. 岐阜大学大学院　自然科学技術研究科、2. 岐阜大学工学部　附属プラズマ応用研究センター)

キーワード：

プラズマ、菅内面、プラント、面成膜