[S161] フレキシブル体を基材とした高機能製品と関連技術

14:45 〜 15:00

[S161-06] ナノ隙間における光硬化性液体の濡れ現象に対するUVオゾン洗浄の影響

〇山本 寛太¹、伊藤 伸太郎¹、福澤 健二¹、中川 勝²、鈴木 涼平³、東 直輝¹、張 賀東¹ (1. 名古屋大学、2. 東北大学、3. キヤノン株式会社)

キーワード：

ナノインプリントリソグラフィ、濡れ性、ナノ流体デバイス