[3G07-08] 6. 固体表面と濡れ・吸着・接着

11:00 〜 11:20

[3G07] 分光反射率測定によるフォトレジストへの現像液浸透挙動の解析

*柳瀬 直人¹、服部 絵里¹、梶谷 忠志¹、川谷 泰弘¹、藤田 光宏¹、丸茂 和博²、山崎 北斗² (1. 富士フイルム（株） 解析技術センター (日本)、2. 富士フイルム（株） エレクトロニクスマテリアルズ開発センター (日本))

キーワード：

ポリマー薄膜、溶媒膨潤、分光反射率測定