セッション詳細
[3G07-08]6. 固体表面と濡れ・吸着・接着
2025年9月24日(水) 11:00 〜 11:40
G会場(17-212)
[3G07]分光反射率測定によるフォトレジストへの現像液浸透挙動の解析
*柳瀬 直人1、服部 絵里1、梶谷 忠志1、川谷 泰弘1、藤田 光宏1、丸茂 和博2、山崎 北斗2 (1. 富士フイルム（株） 解析技術センター (日本)、2. 富士フイルム（株） エレクトロニクスマテリアルズ開発センター (日本))
[3G08]柔粘性イオン結晶の界面におけるイオンの回転自由度：
分子動力学シミュレーションによる研究
*田端 伊織1、屋敷 龍吾2、横山 悠子1、作花 哲夫1、西 直哉1 (1. 京都大学大学院工学研究科 (日本)、2. 京都大学工学部 (日本))