[A1444-4pm] 07. 無機化学

13:40 〜 14:00英語

[A1444-4pm-03] 完全気相で成長過程を追跡可能な有機・無機原子層堆積システム

○松尾 秀明¹、細見 拓郎¹、Jiangyang Liu¹、田中 航¹、高橋 綱己¹、柳田 剛^1,2 (1. 東大院工、2. 九大先導研)

キーワード：

原子層堆積法,水晶振動子マイクロバランス法