講演情報

[F1234-1am-03]ペルメチルオリゴシランの薄膜形成に及ぼすケイ素原子数の効果

○木暮 将宏1、田中 智大、久新 荘一郎1 (1. 群馬大学)
PDFダウンロードPDFダウンロード

キーワード:

ペルメチルオリゴシラン,薄膜