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[H937-2vn-02]量子化学計算によるSi(100)面及びSi(110)面上の結晶成長機構の解析

○石塚 茉奈1、山口 勉功1、国吉 ニルソン1 (1. 早大院)
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キーワード:

化学蒸着法,反応動力学,遷移状態理論