日本化学会 第104春季年会 (2024)
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16:05 〜 16:15
日本語
[H937-2vn-02]
量子化学計算によるSi(100)面及びSi(110)面上の結晶成長機構の解析
○石塚 茉奈
1
、山口 勉功
1
、国吉 ニルソン
1
(1. 早大院)
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キーワード:
化学蒸着法,反応動力学,遷移状態理論
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