[P1-2pm] 07. 無機化学

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[P1-2pm-09] フロー型液相原子層堆積法によるα-Fe₂O₃薄膜の作製

○高柳 充希¹、山根 庸平¹、大坂 直樹¹、森 健太郎¹ (1. 日大生産工)

キーワード：

薄膜,金属酸化物,製膜装置