[P2-3vn] 18. 高分子

日本語

[P2-3vn-06] 半導体製造装置への利用に向けた機械学習による樹脂材料の耐薬性予測

○國枝 省吾¹、山家 暢¹、塙 洋祐¹、上島 仁²、新谷 俊了²、奥出 拓生²、林 慶浩³、吉田 亮³ (1. 株式会社SCREENホールディングス、2. 株式会社システム計画研究所、3. 統計数理研究所)

キーワード：

樹脂材料,有機溶媒,耐薬品性,機械学習