[3PY01-105] 一般ポスター-2

[P3002] 硬X線光電子分光を用いた基板上レジスト材料の電子エネルギー損失分光の試み

○鈴木 哲¹、住田 弘祐² (1. 兵庫県立大, 2. マツダ（株）)

キーワード：

HAXPES、EELS、レジスト