[15a-M_124-1~13]13.5 デバイス／配線／集積化技術
2026年3月15日(日) 9:00 〜 12:30
M_124 (本館)
座長：森 貴之(金沢工大)
量子ドット、量子ビット、ナノシート、GAAFET、CFET、など
セッション一覧（分科別）
13 半導体：13.5 デバイス／配線／集積化技術
[15a-PB1-1~9]13.5 デバイス／配線／集積化技術
2026年3月15日(日) 9:30 〜 11:00
PB1 (武道場 (B1F))
[16a-S2_203-1~9]13.5 デバイス／配線／集積化技術
2026年3月16日(月) 9:00 〜 11:45
S2_203 (南2号館)
座長：中塚 理(名大)
受賞記念講演（シリコンテクノロジー分科会論文賞・研究奨励賞）、ウエハ接合、配線、など
[16p-S2_203-1~15]13.5 デバイス／配線／集積化技術
2026年3月16日(月) 14:00 〜 18:45
S2_203 (南2号館)
座長：小野 行徳(静大)、 トープラサートポン カシディット(東大)
受賞記念講演（業績賞、優秀論文賞、講演奨励賞）、デバイス物理、極低温MOSFET、評価技術、など
[17a-S2_203-1~12]13.5 デバイス／配線／集積化技術
2026年3月17日(火) 9:00 〜 12:15
S2_203 (南2号館)
座長：遠藤 和彦(東北大)
ナノシート、GAAFET、プロセス技術、など
[18a-S2_203-1~10]13.5 デバイス／配線／集積化技術
2026年3月18日(水) 9:00 〜 12:00
S2_203 (南2号館)
座長：松川 貴(産総研)
受賞記念講演（シリコン系半導体エレクトロニクス業績賞）、パワーデバイス、メモリ、回路、など
[18p-S2_203-1~10]13.5 デバイス／配線／集積化技術
2026年3月18日(水) 14:00 〜 17:00
S2_203 (南2号館)
座長：入沢 寿史(産総研)
受賞記念講演（シリコン系半導体エレクトロニクス業績賞）、酸化物半導体、Ge、コンタクト、など
7 件中 ( 1 - 7 )
- 1